製品概要

アルプス電気の「小型地磁気センサ『ＨＳＣＤシリーズ』ワイドダイナミックレンジタイプ」は、スマートフォンや腕時計に搭載されるナビゲーション機能に必要な位置検知用の小型磁気センサー。同社従来品比で実装面積を６０％削減した。１.６ｍｍ角と小型でありながら磁気測定範囲を表すダイナミックレンジがＸ、Ｙ、Ｚの３軸それぞれで従来品比２倍のプラスマイナス２.４ｍＴ（ミリテスラ）と拡大。磁気ヘッド事業で培った薄膜プロセス技術や磁気シミュレーション技術を応用し、磁気素子性能を最適化することで実現した。
ＡＳＩＣ（特定用途向けＩＣ）を自社開発し、微弱な地磁気も検知できるようにしたため、従来品比６０％減の低消費電力で駆動する。また、ハンダボールの代わりに平面電極パッドを格子状に並べた「ＬＧＡパッケージ」の採用で実装時の強度を高めた。
同製品は、カシオ計算機製の方位計測機能付き腕時計に採用された。位置検出機能はモバイル機器の機能として不可欠な存在になりつつある。また小型、軽量、低消費電力駆動に対応したことでスマホやウエアラブル端末などへの採用拡大が期待される。

製品概要

ＴＤＫは、スマートグリッド（次世代電力網）向けに１台で直流電圧を昇圧・降圧できる「絶縁型双方向ＤＣ－ＤＣコンバータ『ＥＺＡ２５００』」を開発した。通常は昇圧用、降圧用それぞれ装置が必要だが、１台で済むのが最大の特徴で、開発期間の費用、設置スペースなどを削減できる。
ＥＺＡは、太陽光発電や風力発電システムなどで発電した余剰電力を家庭用の蓄電池に充電したり、蓄電池の電力を売電するため放電したりする際に電圧を調整する役割を担う。変換方向の切り替え時間は１５ｍ秒と短いほか、独自のデジタル制御技術や低損失フェライトコア、チョークコイルを採用し、双方向で９４％以上の高い変換効率を実現した。４台まで並列運転できる。
スマートグリッド向けのほか、エレベーターや自動倉庫のクレーンなどに搭載されるモーター制動時の回生エネルギーをバッテリーに蓄電する利用することも可能でサンプル出荷の実績も出てきた。産業機器をはじめ幅広い分野に向けて提案し採用拡大を狙う。

製品概要

フジキンの「フローレシオコントローラ（ＦＲＣ）」は、シリコンウエハーが大口径化する中で、半導体製造工程で特殊ガスの噴霧ムラが生じるのを改善するために開発された。大スペースの反応チャンバー内に、特殊ガスを高精度に分岐して複数の吹き出し口から噴霧し、ウエハー全体に均一に行き渡らせる。これにより不良品の少ない半導体製造に寄与する。
次世代の口径４５０ｍｍ時代を前にＦＲＣの新技術が待望されてきた。その有力技術として、現世代の３００ｍｍでもすでに一部採用された。
開発で狙いとしたのは、同社の製品で普及を進めているガス流量制御機器（ＦＣＳ－Ｐ）とセット利用してもらうこと。ＦＣＳ－Ｐの下流側で使う装置となるため、減圧した環境下で作動することが大前提。流量計測機構は圧力損失を極力なくすよう工夫を凝らし、またバルブは開度を機敏に調整する２段階制御など、課題解決の新技術を複数生み出した。チャンバー内部材の経時劣化に影響されず、また作業環境の温度変化も補正する。

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パナソニックの「超高密度 部品縦埋め基板を用いた『ＢＧＡ電流プローブ』」は、テレビなど、多様な機器向けのＬＳＩパッケージと実装基板側の設計や部品配置最適化、小型・低コスト化など図れる開発設計ツール。同パッケージと基板の間に実装し、同パッケージの０.５ｍｍ－１ｍｍ間隔で１０００個以上並ぶ全端子に流れる電流を個別測定。電流見える化で不要端子を削減してパッケージサイズとコストを低減し、基板もノイズ対策部品などの最適配置に結びつくという。
従来技術で全端子の電流測定は難しく、端子レイアウトは知見や経験、勘に頼っていた。このため動作周波数が高速化する中、電源安定化のために端子数が増えていた。電流測定には１端子あたり３つの抵抗チップ部品が必要。受賞部品は、０.６ｍｍ×０.３ｍｍのチップを縦置きの形式で内蔵する技術の開発などで電流見える化を実現した。具体的には、１ｍｍピッチで３４×３４ピンの半導体パッケージ対応の受賞部品だと、３５ｍｍ角で約３５００個のチップを内蔵。縦置きで、端子とチップの配線距離が短く、高周波にも対応できる。

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岡野製作所の「マイクロハクマク圧力センサ」は、熱伝導型と呼ばれる方式の圧力センサーで、大気圧以下の圧力測定に用いる。同種の圧力センサーとして一般的なピラニ式に比べ大幅にコンパクト化し、最小で縦４.５ｍｍ×横４ｍｍ×厚さ０.５ｍｍのサイズを実現。真空装置内狭小空間への取り付けが可能になり、従来不可能とされてきた真空環境の圧力分布を実測する技術に道を開いた。
計測可能な圧力領域が大気圧から１０-３Ｐａの高真空までと広いのも特徴。ピラニ式センサーは、１０３Ｐａの低真空から１０-１Ｐａの中真空までと限られ、より広い圧力領域を計測するには方式が異なる複数の真空計が必要だった。
広範囲の圧力測定を実現したのは、窒化アルミニウムと窒化タンタルを複合化した独自のセンサー材料で、ピラニ式センサーの白金に比べ約１０倍の感度を発揮する。さらに白金は直径０.０３ｍｍ、長さ８０ｍｍの極細線の形状で用いるのに対し、新材料はフィルム基板上に薄膜化が可能。これによりセンサーを大幅にコンパクト化した。